In Halbleiter- und High-Tech-Prozessanlagen müssen Bauteile, Leitungen, Kammern und Medien häufig präzise auf Temperatur gebracht oder auf einem stabilen Temperaturniveau gehalten werden. Horn entwickelt kundenspezifische elektrische Heizsysteme für Anwendungen, bei denen kompakter Bauraum, reproduzierbare Temperaturführung und eine enge Integration in die bestehende Baugruppe entscheidend sind. Flexible Silikonheizungen, Sensorik und vormontierte Thermal Assemblies können an Geometrie, Leistung, Spannung und Temperaturanforderung der jeweiligen Anlage angepasst werden. As an OEM partner for semiconductor heating solutions and thermal management, Horn develops and manufactures in Germany (Gottmadingen).

Semiconductor-Heizlösung anfragen

Kurz erklärt

In Halbleiter- und High-Tech-Prozessanlagen müssen Bauteile, Gasleitungen und Medien häufig präzise auf engen Temperaturfenstern gehalten werden. Horn entwickelt kundenspezifische elektrische Heizsysteme und Thermal Assemblies für Semiconductor Equipment – mit Fokus auf kompakten Bauraum, reproduzierbare Temperaturführung und enge Integration in die Maschinenbaugruppe. Entwicklung und Fertigung am Standort Gottmadingen, Deutschland.

Passende Heizsysteme

Passende Heizsysteme
Horn-Lösung / Produkt Einsatz auf dieser Seite
Flexible Silikonheizungen Für kompakte, konturangepasste und gleichmäßig zu beheizende Flächen.
Heizmanschetten Für zylindrische Prozesskomponenten, Leitungen, Ventile und Fluidbauteile.
Beheizte Leitungen und Schläuche Für Medien, deren Temperatur entlang des Transportwegs stabil gehalten werden muss.
Thermal Assemblies Für vormontierte Einheiten mit Heizung, Sensorik, Anschluss und gegebenenfalls Trägerbauteil.

So entwickeln wir die Lösung

Anwendung und Prozess verstehen:

Bauteil, Temperaturfenster, Einbausituation, Medium, Betriebszustände und Schnittstellen gemeinsam definieren.

Thermal Design auslegen:

Heizgeometrie, Leistungsdichte, Heizzonen, Sensorpositionen, Spannung und elektrische Anschlüsse aufeinander abstimmen.

Prototyp validieren:

Muster fertigen und thermische sowie elektrische Funktion unter den relevanten Randbedingungen prüfen.

Serienlösung industrialisieren:

Fertigungs-, Montage- und Prüfprozess für reproduzierbare Serienlieferungen definieren.

Technische Möglichkeiten

Temperatur und Leistungsdichte
Heizleistung und Leistungsverteilung werden auf Bauteil, Wärmeverluste, Zieltemperatur, zulässige Oberflächentemperatur und Prozessbedingungen abgestimmt.

Spannung und UL-Fähigkeit
Kundenspezifische Spannungen ermöglichen die Integration in unterschiedliche Maschinenkonzepte. Im zertifizierten Produktbereich sind UL-zertifizierte Ausführungen bis 600 V möglich.

Sensorik
Temperaturfühler können an der thermisch relevanten Position direkt in die Heizlösung oder Baugruppe integriert werden.

Komplexe Geometrien und Heizzonen
Ausschnitte, Bohrungen, kundenspezifische Konturen und unterschiedliche Leistungszonen können in der Auslegung berücksichtigt werden.

Thermal Assemblies
Horn kann Heizelement, Sensorik, Leitungen, Anschlüsse und weitere Komponenten zu einer montagefertigen Baugruppe zusammenführen.

Prüfung und Serienfertigung
Elektrische und funktionale Prüfungen sowie Kennzeichnung und Dokumentation können nach vereinbartem Prüfkonzept in den Serienprozess integriert werden.

Benötigte Anfragedaten

  • Zeichnung oder CAD-Daten des zu beheizenden Bauteils
  • Zieltemperatur und zulässiges Temperaturfenster
  • Ausgangs- und Umgebungstemperatur
  • Gewünschte Aufheizzeit
  • Verfügbare Versorgungsspannung
  • Einbauraum und Befestigungssituation
  • Sensorik und Regelkonzept
  • Zulässige Oberflächentemperatur
  • Betriebsmedien und relevante Prozessbedingungen
  • Prototypenbedarf, Stückzahl und geplanter Jahresbedarf

Warum Horn für kundenspezifische Heizsysteme?

Warum Horn für kundenspezifische Heizsysteme?
Merkmal Horn
Mehr als 50 Jahre Erfahrung Entwicklung und Fertigung kundenspezifischer flexibler Heizsysteme.
Mehr als 7 Millionen Heizsysteme Flexible Heizsysteme von Horn wurden bereits weltweit ausgeliefert.
Entwicklung & Serienfertigung in Deutschland Entwicklung, Fertigung, Montage und Prüfung am Standort Gottmadingen.
UL-zertifizierte Ausführungen bis 600 V Im zertifizierten Produktbereich sind UL-zertifizierte Heizsysteme bis 600 V realisierbar. Die Eignung wird für die jeweilige Anwendung geprüft.

FAQ

Welche Heizsysteme eignen sich für Semiconductor Equipment?
Je nach Bauteil und Prozess kommen flexible Silikonheizungen, Heizmanschetten, beheizte Leitungen oder vormontierte Thermal Assemblies infrage.

Können sehr kleine oder komplexe Geometrien beheizt werden?
Flexible Heizsysteme können an Konturen, Ausschnitte, Bohrungen und begrenzte Einbauräume angepasst werden. Die Machbarkeit wird anhand der konkreten Geometrie geprüft.

Sind mehrere getrennte Heizzonen möglich?
Ja, sofern Geometrie und elektrische Auslegung dies zulassen, können unterschiedliche Leistungsbereiche oder getrennte Heizzonen vorgesehen werden.

Kann Temperaturfühlung integriert werden?
Geeignete Temperaturfühler können direkt in die Heizlösung oder Baugruppe integriert und an der thermisch relevanten Position platziert werden.

Sind Spannungen bis 600 V möglich?
Im zertifizierten Produktbereich sind UL-zertifizierte Ausführungen bis 600 V möglich. Die konkrete Eignung wird für die jeweilige Spezifikation geprüft.

Kann Horn komplette Thermal Assemblies liefern?
Ja. Der Lieferumfang kann neben dem Heizelement auch Sensorik, Anschlussleitungen, Steckverbinder, Montage, Kennzeichnung und vereinbarte Prüfungen umfassen.

Können Prototypen vor einer Serienfreigabe gefertigt werden?
Ja. Prototypen und Muster können genutzt werden, um die thermische Auslegung vor der Überführung in eine Serienlösung zu validieren.

Welche Temperaturbereiche sind für Heizlösungen in Semiconductor-Anlagen typisch?

Das hängt stark vom Prozess und der zu beheizenden Komponente ab. Gasleitungen und Ventile werden häufig auf moderat erhöhte Temperaturen gehalten (z. B. zur Kondensationsvermeidung), während Prozesskammern oder beheizte Platten höhere Zieltemperaturen erfordern können. Horn legt den Temperaturbereich für jede Anwendung konkret aus – eine pauschale Angabe wäre nicht belastbar.

Kann Horn Heizlösungen für Vakuum- oder Reinraumumgebungen entwickeln?
Grundsätzlich ja, aber spezifische Anforderungen an Ausgasung, Materialreinheit, Schutzart und Reinraumklasse müssen projektspezifisch geprüft werden. Horn kann Heizlösungen auf Basis der jeweiligen Spezifikation auslegen und notwendige Materialnachweise oder Dokumentation nach Absprache bereitstellen.