Prozesskomponenten präzise temperieren
Bauteile auf definierte Betriebstemperaturen bringen und Temperaturabweichungen im Prozess reduzieren.
In Halbleiter- und High-Tech-Prozessanlagen müssen Bauteile, Leitungen, Kammern und Medien häufig präzise auf Temperatur gebracht oder auf einem stabilen Temperaturniveau gehalten werden. Horn entwickelt kundenspezifische elektrische Heizsysteme für Anwendungen, bei denen kompakter Bauraum, reproduzierbare Temperaturführung und eine enge Integration in die bestehende Baugruppe entscheidend sind. Flexible Silikonheizungen, Sensorik und vormontierte Thermal Assemblies können an Geometrie, Leistung, Spannung und Temperaturanforderung der jeweiligen Anlage angepasst werden. As an OEM partner for semiconductor heating solutions and thermal management, Horn develops and manufactures in Germany (Gottmadingen).
TYPISCHE AUFGABENSTELLUNGEN
Leitungen und Medien auf Temperatur halten
Wärmeverluste in medienführenden Komponenten, Gasleitungen und Prozessleitungen kompensieren.
Kompakte Heizsysteme integrieren
Heizungen an enge Einbauräume, komplexe Konturen und bestehende Maschinenkomponenten anpassen.
Thermal Assembly statt Einzelteile
Heizelement, Sensorik, Leitungen und Anschlüsse als vorbereitete und geprüfte Baugruppe liefern.
TYPISCHE ANWENDUNGEN
- Prozesskammern und Kammerkomponenten
- Gas- und Medienleitungen
- Ventile und Fluidkomponenten
- Analyse- und Dosiersysteme
- Vakuumkomponenten
- Beheizte Platten und Oberflächen
- Prozessmodule
- OEM-Baugruppen für Semiconductor Equipment
PASSENDE HEIZSYSTEME
| Horn-Lösung / Produkt | Einsatz auf dieser Seite |
| Flexible Silikonheizungen | Für kompakte, konturangepasste und gleichmäßig zu beheizende Flächen. |
| Heizmanschetten | Für zylindrische Prozesskomponenten, Leitungen, Ventile und Fluidbauteile. |
| Beheizte Leitungen und Schläuche | Für Medien, deren Temperatur entlang des Transportwegs stabil gehalten werden muss. |
| Thermal Assemblies | Für vormontierte Einheiten mit Heizung, Sensorik, Anschluss und gegebenenfalls Trägerbauteil. |
SO ENTWICKELN WIR DIE LÖSUNG
Anwendung und Prozess verstehen:
Bauteil, Temperaturfenster, Einbausituation, Medium, Betriebszustände und Schnittstellen gemeinsam definieren.
Thermal Design auslegen:
Heizgeometrie, Leistungsdichte, Heizzonen, Sensorpositionen, Spannung und elektrische Anschlüsse aufeinander abstimmen.
Prototyp validieren:
Muster fertigen und thermische sowie elektrische Funktion unter den relevanten Randbedingungen prüfen.
Serienlösung industrialisieren:
Fertigungs-, Montage- und Prüfprozess für reproduzierbare Serienlieferungen definieren.
TECHNISCHE MÖGLICHKEITEN
Heizleistung und Leistungsverteilung werden auf Bauteil, Wärmeverluste, Zieltemperatur, zulässige Oberflächentemperatur und Prozessbedingungen abgestimmt.
Kundenspezifische Spannungen ermöglichen die Integration in unterschiedliche Maschinenkonzepte. Im zertifizierten Produktbereich sind UL-zertifizierte Ausführungen bis 600 V möglich.
Temperaturfühler können an der thermisch relevanten Position direkt in die Heizlösung oder Baugruppe integriert werden.
Ausschnitte, Bohrungen, kundenspezifische Konturen und unterschiedliche Leistungszonen können in der Auslegung berücksichtigt werden.
Horn kann Heizelement, Sensorik, Leitungen, Anschlüsse und weitere Komponenten zu einer montagefertigen Baugruppe zusammenführen.
Elektrische und funktionale Prüfungen sowie Kennzeichnung und Dokumentation können nach vereinbartem Prüfkonzept in den Serienprozess integriert werden.
BENÖTIGTE ANFRAGEDATEN
- Zeichnung oder CAD-Daten des zu beheizenden Bauteils
- Zieltemperatur und zulässiges Temperaturfenster
- Ausgangs- und Umgebungstemperatur
- Gewünschte Aufheizzeit
- Verfügbare Versorgungsspannung
- Einbauraum und Befestigungssituation
- Sensorik und Regelkonzept
- Zulässige Oberflächentemperatur
- Betriebsmedien und relevante Prozessbedingungen
- Prototypenbedarf, Stückzahl und geplanter Jahresbedarf
FAQ
Je nach Bauteil und Prozess kommen flexible Silikonheizungen, Heizmanschetten, beheizte Leitungen oder vormontierte Thermal Assemblies infrage.
Flexible Heizsysteme können an Konturen, Ausschnitte, Bohrungen und begrenzte Einbauräume angepasst werden. Die Machbarkeit wird anhand der konkreten Geometrie geprüft.
Ja, sofern Geometrie und elektrische Auslegung dies zulassen, können unterschiedliche Leistungsbereiche oder getrennte Heizzonen vorgesehen werden.
Geeignete Temperaturfühler können direkt in die Heizlösung oder Baugruppe integriert und an der thermisch relevanten Position platziert werden.
Im zertifizierten Produktbereich sind UL-zertifizierte Ausführungen bis 600 V möglich. Die konkrete Eignung wird für die jeweilige Spezifikation geprüft.
Ja. Der Lieferumfang kann neben dem Heizelement auch Sensorik, Anschlussleitungen, Steckverbinder, Montage, Kennzeichnung und vereinbarte Prüfungen umfassen.
Ja. Prototypen und Muster können genutzt werden, um die thermische Auslegung vor der Überführung in eine Serienlösung zu validieren.
Gemeinsam entwickeln wir Ihre thermische Lösung
Sie entwickeln eine neue Prozess- oder Maschinenkomponente? Senden Sie uns Zeichnung, Temperaturanforderungen und Einbausituation. Wir prüfen gemeinsam mit Ihnen eine geeignete elektrische Heizlösung.